FS-70 系列

378 系列 — 半導體檢測用顯微鏡單元

? 帶目鏡觀(guān)察的小巧顯微鏡單元。適于檢測金

屬表面、半導體、液晶基板、樹(shù)脂等。

? 多種顯微鏡鏡體通常用作適用于專(zhuān)業(yè)器械的

OEM (原廠(chǎng)委制) 產(chǎn)品，如那些利用YAG (近紅

外、可見(jiàn)、近紫外或紫外) 激光* 對半導體晶

片進(jìn)行檢測和修補的設備。

* 不保證激光系統產(chǎn)品的性能和安全性。

? 應用：切割、修整、校正、 給半導體電路做

標記/ 薄膜(絕緣膜) 清潔與加工、液晶彩色

濾光器的修復(校正錯誤)。還可用作光學(xué)觀(guān)

察剖面圖以便探針?lè )治霭雽w故障。

? 可用于紅外光學(xué)系統*。

應用：晶體硅的內部觀(guān)察；紅外光譜特征

分析。

* 需要紅外光源和紅外攝像機。

? 支持BF (明視場(chǎng))、DF (暗視場(chǎng))、偏振光及微

分干涉對比(DIC) 的型號(產(chǎn)品) 可用。

? 帶有孔徑光闌的柯勒照明是表面照明光學(xué)

系統上的標準配件。

? 內傾轉塔和超長(cháng)工作距離的物鏡確保了顯

微鏡下的高可操作性。

規格

型號FS70 FS70-TH FS70Z FS70Z-TH FS70L FS70L-TH FS70L4 FS70L4-TH

貨號378-184-1 378-184-3 378-185-1 378-185-3 378-186-1 378-186-3 378-187-1 378-187-3

型號FS70-S FS70-THS FS70Z-S FS70Z-THS FS70L-S FS70L-THS FS70L4-S FS70L4-THS

貨號378-184-2 378-184-4 378-185-2 378-185-4 378-186-2 378-186-4 378-187-2 378-187-4

聚焦調節使用同心粗調(3.8mm/rev)和微調(0.1mm/rev)對焦輪(右/左)實(shí)現50mm行程范圍