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FS-70 系列
378 系列 — 半導體檢測用顯微鏡單元
? 帶目鏡觀(guān)察的小巧顯微鏡單元。適于檢測金
屬表面、半導體、液晶基板、樹(shù)脂等。
? 多種顯微鏡鏡體通常用作適用于專(zhuān)業(yè)器械的
OEM (原廠(chǎng)委制) 產(chǎn)品,如那些利用YAG (近紅
外、可見(jiàn)、近紫外或紫外) 激光* 對半導體晶
片進(jìn)行檢測和修補的設備。
* 不保證激光系統產(chǎn)品的性能和安全性。
? 應用:切割、修整、校正、 給半導體電路做
標記/ 薄膜(絕緣膜) 清潔與加工、液晶彩色
濾光器的修復(校正錯誤)。還可用作光學(xué)觀(guān)
察剖面圖以便探針?lè )治霭雽w故障。
? 可用于紅外光學(xué)系統*。
應用:晶體硅的內部觀(guān)察;紅外光譜特征
分析。
* 需要紅外光源和紅外攝像機。
? 支持BF (明視場(chǎng))、DF (暗視場(chǎng))、偏振光及微
分干涉對比(DIC) 的型號(產(chǎn)品) 可用。
? 帶有孔徑光闌的柯勒照明是表面照明光學(xué)
系統上的標準配件。
? 內傾轉塔和超長(cháng)工作距離的物鏡確保了顯
微鏡下的高可操作性。
規格
型號FS70 FS70-TH FS70Z FS70Z-TH FS70L FS70L-TH FS70L4 FS70L4-TH
貨號378-184-1 378-184-3 378-185-1 378-185-3 378-186-1 378-186-3 378-187-1 378-187-3
型號FS70-S FS70-THS FS70Z-S FS70Z-THS FS70L-S FS70L-THS FS70L4-S FS70L4-THS
貨號378-184-2 378-184-4 378-185-2 378-185-4 378-186-2 378-186-4 378-187-2 378-187-4
聚焦調節使用同心粗調(3.8mm/rev)和微調(0.1mm/rev)對焦輪(右/左)實(shí)現50mm行程范圍