貨號378-184-1 378-184-3 三豐MITUTOYO

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? 帶目鏡觀(guān)察的小巧顯微鏡單元。適于檢測金屬表面、半導體、液晶基板、樹(shù)脂等。

? 多種顯微鏡鏡體通常用作適用于專(zhuān)業(yè)器械的OEM (原廠(chǎng)委制) 產(chǎn)品，如那些利用YAG (近紅外、可見(jiàn)、近紫外或紫外) 激光* 對半導體晶片進(jìn)行檢測和修補的設備。* 不保證激光系統產(chǎn)品的性能和安全性。

? 應用：切割、修整、校正、給半導體電路做標記/ 薄膜(絕緣膜) 清潔與加工、液晶彩色濾光器的修復(校正錯誤)。還可用作光學(xué)觀(guān)察剖面圖以便探針?lè )治霭雽w故障。

? 可用于紅外光學(xué)系統*。應用：晶體硅的內部觀(guān)察；紅外光譜特征分析。* 需要紅外光源和紅外攝像機。

? 支持BF (亮視場(chǎng))、DF (暗視場(chǎng))、偏振光及微分干涉對比(DIC) 的型號(產(chǎn)品) 可用。

? 帶有孔徑光闌的柯勒照明是表面照明光學(xué)系統上的標準配件。

? 內傾轉塔和超長(cháng)工作距離的物鏡確保了顯微鏡下的高可操作性。

半導體檢測顯微鏡單元技術(shù)參數

型號	FS70	FS70-TH	FS70Z		FS70Z-TH	FS70L	FS70L-TH		FS70L4	FS70L4-TH
型號	FS70S	FS70-THS	FS70ZS		FS70Z-THS	FS70LS	FS70L-THS		FS70L4S	FS70L4-THS
聚焦調節	使用同心粗調(3.8mm/rev)和微調(0.1mm/rev)對焦輪(右/左)實(shí)現50mm行程范圍
圖像	正像
物鏡筒鏡	西登托夫型, 調節范圍: 51 - 76mm
視場(chǎng)數	24mm
俯角	-	0°-20°	-		0°-20°	-	0°-20°		-	0°-20°
透過(guò)率	固定(目鏡/TV＝ 50%/50%)		可調型(目鏡/管徑＝ 100%/0%： 0%/100%)			固定(目鏡/TV＝ 50%/50%)			可調型(目鏡/管徑＝100%/0%：0%/100%)
防護濾光片	-					內置激光濾光片
管徑鏡頭	1x			1x-2x放大				1x
適用激光	-			1064/532/355nm				532/266nm
相機安裝端口	C-mount (適用適配器B選件)			使用帶TV接口的激光				C-mount開(kāi)關(guān) (帶綠色濾光片轉換開(kāi)關(guān))
照明系統(選件)	亮視場(chǎng)反射照明 (科勒照明、帶孔徑光闌) 12V100W亮視場(chǎng)反射照明、無(wú)極亮度調節、光纖長(cháng)度
物鏡（用于觀(guān)察）	M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo
物鏡（用于激光切割）	-			M/LCD Plan NIR, M/LCD Plan NUV				M Plan UV
載重	14.5kg	13.6kg	14.1kg		13.2kg	14.2kg	13.5kg		13.9kg	13.1kg
重量（主機）	6.1kg	7.1kg	6.6kg		7.5kg	6.4kg	7.2kg		6.7kg	7.5kg
燈泡更換	標準: 鹵素燈泡 (12V, 100W) (517181)
	用于光纖傳導照明裝置 (12V, 100W) (378-700)

注：鏡體的載重不包括物鏡鏡頭和目鏡的重量。

主機；

相機（根據不同型號配置）；

管徑鏡頭（根據不同型號配置）；

防護濾光片；

物鏡（根據不同型號配置）；

鹵素燈泡；

照明系統：

亮視場(chǎng)反射照明 (科勒照明、帶孔徑光闌）；

12V100W亮視場(chǎng)反射照明、無(wú)極亮度調節、光纖長(cháng)度；

物鏡：

用于觀(guān)察：M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo；

用于激光切割：M/LCD Plan NIR，M/LCD Plan NUV，M Plan UV；

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